原標題：聚焦十二條重點産業創新鏈和五個智慧産業方向 瀋陽發佈“揭榜挂帥”項目榜單

　　記者5月16日獲悉，瀋陽市重點技術攻關“揭榜挂帥”項目榜單於日前發佈，31個“揭榜挂帥”項目對外張榜發佈。榜單圍繞統籌做好改造升級“老字號”、深度開發“原字號”、培育壯大“新字號”結構調整“三篇大文章”，聚焦IC裝備、智慧製造等12條重點産業創新鏈和網絡安全、5G基礎設施及應用、人工智能、智慧終端、智慧感測器等5個智慧産業方向，著重産業應用和企業急需，以解決産業鏈和技術“卡脖子”問題為主攻方向。

　　IC裝備方向包括八大項目。其中，“積體電路裝備用氣體品質流量控制器閥塊流道超精拋光關鍵技術攻關”項目揭榜任務為：圍繞突破積體電路裝備用氣體品質流量控制器閥體流道超精拋光技術，進行複雜精密交叉孔超精密拋光工藝開發及專用設備研製，通過對超精表面拋光關鍵技術突破，解決積體電路裝備零部件的國産化配套瓶頸問題等。“積體電路裝備零部件高緻密耐刻蝕氧化釔涂層製備關鍵技術攻關”項目揭榜任務為：圍繞解決我國目前積體電路裝備中關鍵零部件依賴進口及國內製造和防護技術無法滿足要求問題，採取合適方法來消除涂層沉積過程中的大顆粒問題，消除由大顆粒所帶來的涂層緻密度差不耐腐蝕問題，從而有效保障涂層成分及性能的均勻性等。

　　本次“揭榜挂帥”項目向國內外高校、科研院所、企業、新型研發機構等徵集揭榜單位，揭榜方應符合具有獨立法人資格，與技術需求提出企業（發榜方）無關聯關係；具有較強研發實力、完備的科研條件和由高層次人才領軍的穩定的科研人員隊伍等條件。揭榜方與發榜方達成共識後，將簽訂技術合同，確定項目實施內容、考核指標、科研週期、技術交易額、支付方式、驗收標準等，並在技術市場完成登記備案。

　　據悉，經公示無異議項目，將列入本年度瀋陽市級科技計劃，按照瀋陽市科技計劃項目管理相關規定組織開展技術攻關。瀋陽市科技創新專項資金對發榜方按照不超過技術交易額50%的標準，給予揭榜項目資金資助。（遼寧日報記者 陶陽）