晶片製造關鍵設備再突破!離子注入機實現全譜係産品國産化
編輯: 王瑞穎 | 時間: 2021-03-17 11:17:53 | 來源: 新華社 |
中國電子科技集團有限公司17日對外公佈,該集團旗下裝備子集團攻克系列“卡脖子”技術,已成功實現離子注入機全譜係産品國産化,包括中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機,工藝段覆蓋至28nm,為中國晶片製造産業鏈補上重要一環,為全球晶片製造企業提供離子注入機一站式解決方案。(記者溫競華,海報設計:賈伊寧)
標簽:科技
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