研發納米級精度微運動讓高端精密裝備有了“芯”

　　為滿足精密加工製造、半導體、顯微科學、光通信、生物技術等領域對於樣品的精密定位、光路精密調整、光束精密聚焦、精密計量與檢測等應用的需求，哈爾濱芯明天科技有限公司研發了納米級精度微運動及控制系統，其性能與國外産品相當或更高，並且在價格、服務響應速度、定制化週期、産品交付速度等方面具有明顯優勢。

　　據了解，納米級精度微運動及控制系統是以壓電陶瓷作為驅動源，結合精密的機械結構、配置高精度的感測器，通過專業的驅動控制器進行驅動控制實現精密平移，偏擺，旋轉等精密微運動。運動與控制的精度可以實現納米級，解析度亞納米級，響應速度快可達微秒級。

　　哈爾濱芯明天科技有限公司陳峰表示，傳統的致動方式滿足不了高精密的需求，比如説手動，或電機控制，都無法滿足當下用戶對於納米級精度定位與運動的需求。新系統主要是採用壓電陶瓷作為驅動源，壓電陶瓷材料是一種功能性材料，隨著驅動電壓的變化而産生形變，通過增加感測器的閉環方式使得致動與電壓呈線性關係，解析度、定位精度均可達到納米級，從而實現傳統致動方式無法實現的納米級微運動與控制。

　　據悉，納米級精度微運動及控制産品的應用解決了超精密加工中刀具在納米量級的微進給；解決了衛星鐳射通信實驗中精密跟蹤與瞄準的問題，推動了鐳射通信行業的發展；在半導體與IC裝備上應用廣泛，如光刻機、晶圓切割等，推動了市場對於消費電子産品小型化、快速化及零件價格低的需求；實現了光纖端面高精度顯微成像檢測，使光纖對接的更精準，大大降低了光的功率損耗，提高光纖通信速率；解決了光學顯微成像聚焦精度問題，大大提高了成像清晰度，在生物醫療等應用領域起到了關鍵性的作用，對遺傳性疾病、病毒基因、癌細胞的基因表達等檢測起到了助力的作用。（記者　孫英鑫）