上海啟動8英寸“超越摩爾”研發中試線

　　新華社上海９月１０日電（記者王琳琳、劉暢）１０日，由上海微技術工業研究院建設的８英寸“超越摩爾”研發中試線正式啟動，填補了我國微機電系統智慧感測器領域缺乏小批量中間性試驗生産線的空白。

　　隨著硅的工藝發展趨近於其物理瓶頸以及成本制約，業內專家認為，“超越摩爾”時代已經來臨，傳統摩爾定律或將面臨顛覆，將不再局限于依靠尺寸改變去推進積體電路製程節點，材料、工藝、結構等多維度的創新更加重要。

　　微機電系統智慧感測器，是一種新型感測器，具有小體積、低成本、集成化、智慧化等優點，領跑感測器飛速發展。

　　感測器，位於整個物聯網的基礎層，是數據採集的入口，也是物聯網的基石。據《２０１６－２０１７年中國物聯網發展年度報告》，目前我國約６０％的感測器依賴進口，微機電系統智慧感測器幾乎全部依賴進口。

　　中國科協副主席、上海微技術工業研究院創始人王曦院士認為，要擺脫微機電系統智慧感測器對進口的嚴重依賴、實現我國晶片産業的自主可控，當務之急是要建自主的８寸研發中試線。

　　８英寸研發中試線廠長遊家傑説，我國微機電系統智慧感測器科研實力並不弱，沒有開發出領先産品是因為中試環節出現了斷檔。

　　遊家傑介紹，新建成的研發中試線，目前規定産能是每月生産３０００片左右晶圓，後期將達到５０００片。“我們可以支撐用戶從幾百片到上千片的産能需求，小規模訂單先在中試線上孵化，一旦前期市場測試成功，就可以把大批量訂單轉移給大型代工廠，開始規模量産。”

　　據介紹，目前，研發中試線專注于微機電系統智慧感測器研發，未來將拓展至“超越摩爾”新型非數字、多元化半導體産品技術的創新，例如，高壓器件、生物醫療晶片等。