關門投票，“國家隊”落戶山東

　　原標題：山東有研半導體材料有限公司總工程師肖清華：見證半導體級單晶矽片“山東造” 關門投票，“國家隊”落戶山東

　　最近一個月，山東有研半導體材料有限公司總工程師肖清華很忙，但不是穿著工程服、戴著安全帽，奔走工地，而是西裝革履介紹生産情況。他笑稱：“我從工程師變成‘包工頭’，現在又成‘招商大使’了。”有研半導體一期項目10月份通線量産後，已經有來自全國各地的四五家上下游企業前來德州經開區考察項目，“他們認為，有研選擇的地方，應該值得一看。”

　　硅片作為半導體積體電路的材料載體，是當之無愧的産業基石。有研半導體材料有限公司是半導體材料行業名副其實的“國家隊”，2000年肖清華考取到北京有色金屬研究總院攻讀材料學工學博士，這些年全程參與了8英寸和12英寸硅片研發。

　　2016年，有研半導體擴大生産空間刻不容緩，有意外遷的消息傳出後，眾多城市拋來橄欖枝，最後定在3個城市選址。“2018年的五一假期，我們部分管理和技術骨幹到這3個地方，詳細考察當地的區位交通、營商環境、人力資源等條件，假期結束後上班第一天，我們關門投票，每個人説想把項目搬遷到哪，結果大家的意見比較一致，那就是去德州。”肖清華回憶道。

　　10月16日有研半導體在德州的項目實現量産，從立項到投産只用了18個月，比預期提前了半年。這也是山東首條積體電路用8英寸硅片生産線，半導體級單晶矽片實現了“山東造”，為山東積體電路産業發展增添了重重的砝碼。這背後是眾多有研人和德州項目服務人員無數不眠的日夜，疫情期間的馬不停蹄，設備搬移的高精度調試，與材料供應端的多次磨合，肖清華全程參與，每天奔走在項目建設一線。半導體級直拉硅單晶拉制對水、電和氬氣等動力條件的供應穩定性要求非常苛刻，功夫不負有心人，今年7月第一根8英寸硅單晶棒在德州一次性拉製成功時，很快8英寸硅片實現量産，肖清華內心萬分激動。

　　不僅是生産線，有研半導體大量的專家和技術人員都在向德州轉移。有了龍頭企業帶動，德州正規劃建設270畝的半導體材料産業園區，預計年底將有4家企業進駐。“‘十三五’期間我們順利完成了搬遷並提高了産能，8英寸硅片年産量增加了180萬片。”肖清華表示，希望未來德州能成為北方最大的半導體材料生産基地。如今，肖清華與山東有研人正加快推進12英寸積體電路用硅片産業化建設，他們還在繼續追逐著自己的夢想。（大眾日報記者 賀瑩瑩 通訊員 趙慶川）