原標題為：津企完成高純溴化氫國産替代並將批量供應 國內半導體終端有了可靠原料
2月20日，記者從天津經開區了解到，天津經開區企業天津綠菱氣體有限公司（以下簡稱綠菱氣體）自主研發生産的高純溴化氫産品日前通過多家國內知名晶片企業認證，即將批量供應。這標誌著綠菱氣體成功完成高純溴化氫國産替代，將為國內半導體終端用戶提供可靠的原料支持。
高純溴化氫是晶片先進製造過程中的核心氣體之一。2023年之前，國內高純溴化氫市場長期被進口産品壟斷。綠菱氣體憑藉多年研發經驗，在位於天津經開區南港工業區的新工廠成功實現了高純溴化氫的批量生産，年産量可達300噸。目前，綠菱氣體自主研發生産的高純溴化氫已通過長江存儲、中芯國際、華虹宏力等國內知名晶片企業認證，並實現穩定供應。另有多家國內知名晶圓廠正在對綠菱氣體自主研發生産的高純溴化氫進行驗證，預計今年開始批量生産供貨。（記者 萬紅）
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