5月31日上午，第八屆MEMS智慧感測器産業生態發展大會在蚌埠舉辦。副省長任清華宣佈大會開幕。中國兵器工業集團副總經理史志榮、中國微米納米技術學會副理事長王躍林、蚌埠市委書記馬軍分別致辭；中國科學院院士段樹民、中國工程院院士蔣莊德、中國科學院院士毛明、中國工程院院士楊樹興、中國科學院院士劉勝等900余名專家學者和企業家出席會議。

大會現場

　　此次大會以“芯聚江淮 智感世界”為主題，由安徽省科學技術廳、中國兵器工業集團有限公司民品産業部、蚌埠市人民政府、中國微米納米技術學會、異質異構集成微系統全國重點實驗室、臨近空間環境特性及效應全國重點實驗室聯合主辦，中國感測器與物聯網産業聯盟大力支持。

　　蚌埠是中國三大感測器研發製造基地之一，深耕MEMS感測器30餘年，是安徽省唯一、全國為數不多的同時擁有積體電路及MEMS晶圓生産線的城市。近年來，蚌埠市上下按照省委、省政府部署要求，依託安徽北方微電子研究院等大院大所和龍頭企業，加快佈局智慧傳感産業，制定出臺了《蚌埠市推動智慧傳感産業高品質發展若干政策》《關於支持智慧傳感産業人才發展的十條措施》等系列政策，組建了超70億元的智慧傳感産業發展基金，實施了全國促進智慧傳感産業發展條例，蚌埠市已集聚智慧傳感産業相關企業200余家，形成了涵蓋材料裝備、研發設計、晶圓製造、封裝測試、終端應用的産研一體、鏈群共生的發展格局，中國傳感谷躋身全國十大高品質感測器園區第六位。

大會現場

　　開幕式上，異質異構集成微系統全國重點實驗室成功揭牌，並正式發佈“MEMS-OCS(光交叉互聯晶片)微納集成工藝體系”“CavPiezo(Cavity-SOI Piezo，空腔型絕緣體上硅基壓電MEMS 工藝體系)工藝體系”“SMCD(Surface Micromechanical Capacitive Device:表面微機械電容式器件工藝體系)工藝體系”等三套原創工藝技術和七款産品，破解了微納領域核心技術瓶頸，搭建了自主可控技術與産業體系。

　　大會期間，《集成傳感與微系統》期刊正式發佈，主辦單位為安徽北方微電子研究院集團有限公司。該期刊旨在打造高水準的學術交流平臺，致力於推動從集成器件、智慧傳感到微系統集成的全産業鏈創新融合，匯聚科研智慧，助力關鍵核心技術突破。期刊聘請中國科學院劉勝院士擔任主編，安徽北方微電子研究院集團有限公司陳丙根董事長、東南大學黃慶安教授擔任執行主編。

　　大會發佈了蚌埠市首輪MEMS工程流片券政策。按照這一政策，企業最高可按其流片費用的50%獲得補助，每家企業每年獲得的補助總額最高可達500萬元，能夠進一步降低企業MEMS工程流片成本，助力晶片、器件、模組等關鍵技術研發與成果轉化，推動蚌埠市智慧傳感産業高品質發展。

　　大會還推介了中國傳感谷和《支持中國傳感谷發展若干政策（2.0版）》，舉行了智慧傳感産業創新創業大賽頒獎活動。總協議金額45.8億元的20個智慧傳感項目在會上進行了展示。部分院士、專家作大會主旨演講。大會期間，累計30余位專家、企業家作專題報告。（文/圖 王文）