9月22日,2026全國顛覆性技術創新大賽總決賽在上海落幕。在2000個項目同臺激烈角逐中,安徽4個項目站上領獎臺。其中,由合肥市顛覆性技術創新中心推薦的晶片倣真平臺獲優勝獎。該平臺項目由總部位於合肥的全芯智造技術股份有限公司(簡稱“全芯智造”)與復旦大學聯合申報,它做的事有些“超前”,在一塊晶片還沒造出來之前,就從原子層面預判它行不行、能用多久。這也正契合了顛覆性技術創新大賽的立意:不是把舊方法做得更好,而是一條新路。
為什麼要在原子層面“算命”?
做晶片,設計完不能直接量產,得先“打樣”,行業裏叫“流片”。一次流片,費用從幾十萬美元到上億美元不等,製程越先進越貴。
“這不只是錢的事,AI晶片市場窗口極短,產品晚上市半年,就可能錯過整整一代紅利。”全芯智造工藝器件模擬資深總監顏丙勇介紹,過去幾百納米的平面電晶體時代,器件尺寸大,原子層面的小缺陷影響有限,靠大量實驗擬合出經驗參數就夠用。但進入FinFET(鰭式電晶體)、GAA(環繞柵極)時代,電晶體關鍵部位厚度只剩十幾個原子,“相當於從水庫變成了細水管。”硅晶體裏缺一個原子的“空位缺陷”、原子排列歪一點的“位錯”,都會直接決定晶片能否正常工作、功耗多高、壽命多長。
可靠性隱患,過去往往要等流片之後才查得出來。
晶片“可靠性”聽起來專業,其實和每個人都有關。“手機用兩三年變卡、發熱,很多人以為是記憶體不夠、電池老化,其實晶片性能衰減也是核心原因。電晶體長期通電,原子級缺陷慢慢累積,就像水管結水垢。”顏丙勇説。而在汽車領域,車規晶片要求把缺陷率壓到百萬分之一甚至更低。“即使只有萬分之一的缺陷率,投放到幾百萬輛車上,就是幾百上千個安全隱患。”
為此,全芯智造的新平臺把排查前置到了晶片倣真階段。基於第一性原理與分子動力學計算,構建無經驗參數約束的“缺陷全態模型”,打通“原子-器件-電路”全鏈路。經測算,這套方法可幫企業降低工藝研發成本20%以上,節約流片成本10%以上。
尖銳的考題
顏丙勇回憶,顛覆性大賽決賽答辯現場,評委拋出最尖銳的問題:原子、器件、電路,尺度相差億萬倍,你們怎麼把它們相容起來,還能同時兼顧計算精度和效率?
“這正好問到了項目的核心難點。”顏丙勇説。打個比方,研究一座城市的交通,既要看清一輛車怎麼行駛,又要判斷路口會不會堵,最後還要看整個路網是否順暢。不同層次用不同演算法,關鍵是把它們之間的影響準確傳遞下去。
晶片世界同樣如此。
在原子層面,全芯智造團隊用第一性原理研究缺陷的性質和變化規律;到了器件層面,把這些結果轉成器件倣真能用的物理參數,分析漏電、閾值電壓漂移;再往上,提取老化模型供電路倣真使用。“不同尺度之間不能只做數據格式轉換,還要解決物理模型怎麼銜接、耦合方程怎麼求解、計算結果怎麼驗證。”
從行業看,傳統工藝倣真工具,恰恰被擋在這道“尺度壁壘”前。算原子的是一套工具,算單個電晶體的是另一套,算整條產線工藝效果的又是一套,彼此割裂、靠經驗公式補漏。而全芯智造這次做的,是從硅原子怎麼運動、怎麼形成電晶體,一路連續倣真到整條產線的參數與最終良率,相當於在電腦裏建起一座完整的“虛擬晶圓廠”。
經過評委嚴苛的評審,全芯智造的平臺最終獲優勝獎。“知道結果那一刻,高興,更覺得肩上的責任重了。”顏丙勇説。做製造EDA,投入和回報之間往往隔著很長時間,“這次獲獎讓我們這些長期做底層研發的人感受到,大家看到了這件事的價值。”
七年磨一把國產“尺子”
EDA被譽為“晶片之母”,其中製造類EDA又是國產化率最低的一塊(目前僅約10%),全球約八成市場被國際巨頭佔據。
“這是國產替代最硬的一塊骨頭。”全芯智造董事長、總經理倪捷説,製造EDA不是單純的軟體,而是“軟體演算法+半導體工藝+晶圓產線”深度綁定的複合體係,難在四道高墻:它直接跑在晶圓廠生產線上,一廠一線參數各異,而工藝參數又是核心機密;它覆蓋幾十道工序,三巨頭花了三四十年才拼成全流程;一旦用上某家工具,整條產線的參數、習慣、流程都被深度綁定,更換成本極高;再加上既懂物理、又懂工藝和軟體的複合型人才全球稀缺。
2019年,全芯智造在合肥註冊成立,7年間在這條窄路上扎了下去。“國產工具憑什麼讓晶圓廠敢換、願意換?先把切換風險降到幾乎為零。”倪捷説,團隊從單個環節、單條產線切入,和海外工具並行“雙備份”,數據一致甚至更優後再擴大範圍。工程師直接駐場,24小時待機,針對國產設備、特殊工藝深度定制,“這種響應速度和量身定做,標準化的海外工具比不了。更重要的是,用國產工具,跑在國產設備上,打造‘軟體+硬體’的完整自主生態,才是把製造環節的自主權真正攥在自己手裏。”
如今,這家註冊資本3.6億元的企業已是國內製造EDA細分領域龍頭,建成計算光刻、工藝器件建模倣真、設計製造協同優化、良率與智慧製造四大完全自主知識產權平臺,產品和服務覆蓋國內超80%晶圓廠。就在獲獎後不久,其計算光刻平臺又在第26屆中國國際工業博覽會首屆“國芯展”上獲評創新成果獎,是該領域唯一獲獎產品。
到合肥創業
“對我們這批在EDA領域摸爬滾打二三十年的人來説,最想做的是真正能改變行業格局的事。”倪捷説,成熟大廠多是在成熟產品上局部迭代,“很難有從0到1搭建一套全新技術體系的機會。”而國產替代是真真切切的剛需。
“選擇合肥,全芯智造看重兩點。”一是產業鏈足夠近,“製造EDA不能閉門寫代碼,必須和晶圓廠產線深度綁定、聯合調試。”合肥是國內積體電路集群最完整的城市之一;二是這座城市“懂硬科技,願意等慢生意”,“投早、投小、投硬科技”的思路,在企業最需要融資、人才的階段給了支持。
開放的城市,開放的平臺,引發更多開放的合作。
此次和全芯智造聯合申報項目的復旦大學器件可靠性模型研究團隊,主攻原子尺度缺陷機理等前沿物理,全芯智造負責器件建模、演算法、軟體平臺和客戶應用。基礎研究的“最先一公里”,與產業轉化的“最後一公里”,在合肥的產業土壤裏接上了棒。
目前,獲獎項目仍處於從實驗室技術向工程產品轉化階段。下一步,團隊計劃先選一家晶圓廠開展器件級可靠性驗證與試商業化,成熟後再面向FinFET、GAA產線規模推廣。與此同時,全芯智造也正在探索“AI+EDA”的新路徑,圍繞多條產品線打造可信智慧體。不過,在倪捷和顏丙勇看來,晶片製造容不得半點差錯,“AI可以幫助提升效率,但一次流片就是幾百上千萬乃至上億成本,目前最終拍板的只能是人。”(文 郜徵 李環環 潘玉 王政)
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