近日，河北普興電子科技股份有限公司工作人員正在裝取碳化矽外延片。 河北日報通訊員 張曉峰攝

　　走進石家莊市鹿泉區河北普興電子科技股份有限公司，眼前的碳化矽外延片，如同透明的CD唱片，滿滿的科技范兒。它的作用可不容小覷，如果把製造晶片比作蓋房子，這就是房子的框架。

　　如今，普興電子的碳化矽外延片産量，位居全國前列。很難想像，就在20多年前，這家企業連擦設備的布都要依賴進口。

　　2006年，在國內率先量産6英寸硅外延片；

　　2010年，在國內率先量産8英寸硅外延片；

　　2014年，自主研發出第一套國産外延爐；

　　2020年，在國內率先量産6英寸碳化矽外延片；

　　…………

　　10多年鍥而不捨，普興電子用事實印證——

　　關鍵核心技術是要不來、買不來、討不來的，唯一齣路就是埋頭苦幹，自主創新。

　　一次自主研發的啟示——

　　“創新就是九死一生，保持定力才能攻克難關”

　　時間轉回到2005年。那一年，5英寸硅外延片市場正火，有貨就不愁賣。

　　不缺市場的普興電子，卻斥鉅資從國外進口了一台生産6英寸産品的新單片爐設備。當時，企業一年的銷售收入只有四五千萬元。

　　一時間，質疑聲四起：“賣得好好的，為啥給自己找難題？”“這麼貴，收得回成本嗎？”

　　公司總經理陳秉克態度堅決，因為他深知：“沒有核心技術，就永遠拿不到産業話語權。”

　　那時，國內6英寸硅外延片的技術瓶頸還未突破，生産技術沒有經驗可循，只能摸著石頭過河。

　　科研人員埋頭苦幹幾個月，第一批産品終於出來了。然而，就在大家滿心歡喜慶祝的時候，問題來了。

　　“明明出廠檢測合格，可到了用戶那裏，就會出現探測不到的缺陷。”副總經理袁肇耿回憶起來仍然感到痛心。

　　最嚴重的一次，發了5000片貨，退回來2500片。一氣之下，他們把這些不合格産品砸碎，報廢處理。

　　橫在普興電子面前的，是一道道技術難題，如同一座座大山擋住了前進的道路。

　　那段日子，讓陳秉克終生難忘。最難的時候，企業年底利潤是負數，他心有不甘：“必須搞出自己的技術！”

　　自打那時候起，實驗室的燈就沒熄過。十四五位科研人員，心裏都憋著一口氣，大家輪流倒班，發起技術攻關。

　　問題出在哪兒？襯底拋光去除量不夠、工藝過程參數設置不準確、損傷層去除不均勻、反應腔處理條件不合理……大家一個個查找，一個個解決。

　　一次又一次，光做試驗的硅外延片，就報廢了一萬多片。“都是錢啊，一片片砸進去，一點響都聽不到。”大家心裏沒底。

　　這項技術在國內屬於空白，沒有人知道要投入多少，也沒有人知道要堅持多久。

　　但沒有一個人氣餒。

　　嘗試，失敗；再嘗試，再失敗……摸索了一年時間，終於找到新的檢測方法，缺陷率控制住了。

　　2006年，普興電子終於通過自主研發，在全國率先批量生産出性能穩定的6英寸硅外延片。

　　核心技術帶來了源源不斷的訂單。“最火的時候，客戶帶著現金住在廠裏等著提貨。”袁肇耿笑著説。

　　“創新就是九死一生。保持定力，才能攻克一個個技術難關。”回望那段經歷，袁肇耿深有感觸。

　　一次勇敢突圍的成長——

　　“設備依賴外國，産業發展就會受制於人”

　　潔凈廠房的操作區內，8英寸硅外延片正在外延爐裏靜靜生長。顯示屏上燈光閃爍，技術人員認真觀察各項技術參數運行情況。

　　“這套設備，是我們自主研發的。”普興電子生産部副部長許斌武話語裏滿是自豪。

　　2012年，訂單直線攀升，普興電子準備擴大産能。然而，興衝衝地去國外買設備的工作人員卻被絆住了，談了3個多月都沒談下來。

　　“賣給我們的是淘汰設備，價格卻比先進型號高，還提出先付錢、不保證交付期等不合理條件。”許斌武説。

　　“設備依賴外國，産業發展就會受制於人。”普興電子下定決心：“自己研發！”

　　可是，自主研發設備，談何容易？這是一個龐大的系統，集機、電、計算機、自動化控制等技術為一體，所涉知識密集、學科眾多，硬體、軟體要求高。

　　高精度的旋轉系統，一度成為“攔路虎”。“旋轉平穩度差之毫釐，硅片從片籃傳送到反應室就會發生偏移，生産出的産品就報廢了。”袁肇耿説。

　　光這一個小環節，研發人員就用了近半年時間反復試驗。最終，請來編程專家一點點調整參數，終於實現精準穩定旋轉。

　　就這樣，一項項工藝反復調整，一個個部件精雕細琢，樣機終於在兩年後成功問世，實現了國産設備的突破。

　　沒想到，成本下降了一半，但推廣卻遭遇難題。有人懷疑，不會是樣子貨吧？也有人對國産設備不信任，説還是用進口的靠譜。

　　信任，不是説出來的，而是做出來的。他們免費提供樣片，做可靠性驗證，努力提供比進口品牌更誠摯的服務。

　　兩年以後，袁肇耿明顯感到用戶對國産設備態度的轉變——“從不信任到願意嘗試了”。

　　“研發的過程，也讓我們對設備有了更深刻的理解，便於更好地改進生産工藝。”袁肇耿説，比如改善感應線圈結構，能使生産效率提高15%；改進進氣裝置，使氣場一致性提高10%。

　　一種創新攻堅的決心——

　　“不能總是跟跑，要奮力實現並跑、領跑”

　　來到青山環抱中的普興電子新外延材料産業基地，一座座高大的白色現代化廠房拔地而起。

　　“全部達産後，整體産能將擴大三倍，年産值達到30多億元。”袁肇耿介紹。

　　如今，普興電子已成長為國家級專精特新“小巨人”企業，也是河北省第一批縣域特色産業集群“領跑者”企業。

　　這些年來，從第一代到第三代半導體材料，一批批實現“零的突破”的科研成果從這裡源源走出。在國內率先穩定量産8英寸硅外延片；率先研製出碳化矽外延片……硅外延及碳化矽外延産品國內市場佔有率超25%以上。

　　不光要突破技術、設備，普興電子還要“打造”國家標準。目前，該企業正參與制定碳化矽缺陷檢測方法等三項國家標準。

　　不創新不行，創新慢了也不行。袁肇耿總有一種緊迫感：“半導體材料領域，不能總是跟跑，要奮力實現並跑、領跑！”

　　普興電子一直在奔跑，每年投入大量資金進行新技術研發，目前正加快研發第四代半導體材料，未來將應用在5G通信、高速軌道交通等領域。

　　不怕失敗，艱苦磨礪。普興電子10多年來的發展歷程，標記出高新技術企業勇攀高峰、不斷攻克前沿技術的鮮明足印。（河北日報記者 周潔 張曉超）