2023年1月12日，陜西光電子先導院先進光子器件工程創新平臺舉行核心設備搬入儀式。作為陜西省2022年重點建設項目，該臺依託“追光計劃”頂層設計，借助西科控股産業體系優勢助推“1+2+N”光子産業佈局構想落地，打造領先的先進光子器件工程創新平臺。

陜西光電子先導院先進光子器件工程創新平臺舉行核心設備搬入儀式

　　據了解，陜西光電子先導院先進光子器件工程創新平臺項目是中科院西安光機所和西安高新區共同打造的秦創原“三器”平臺項目之一。項目佔地30畝，建設中試車間、中試大樓、綜合樓和動力站等研發中試配套設施，總建築面積約3萬平方米，潔凈廠房3000平方米，一期專業設備86台（套），具備以GaAs、GaN為主線，圍繞6英寸化合物晶片工藝服務能力的柔性中試平臺，可為光子産業孵化項目提供産品研發、中試、檢測等全流程技術服務。

　　該平臺“技術服務模式（20%）+工程代工模式（80%）”的結合，為光子産業各類創新主體，打通從産品研發到市場化批量供貨的完整鏈條，解決當前行業中小型創新企業流片困難的問題；通過與創新企業持續進行聯合研發，光子晶片製程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項核心工藝技術不斷攻克，平臺軟硬體建設不斷完善。同時，平臺將有效解決第三代化合物半導體晶片卡脖子環節中的外延生長與製程問題，為客戶提供晶片製造環節中的全流程服務（如外延生長、光刻、刻蝕、薄膜製備、清洗、減薄、拋光、劃片等）。其客戶主要集中在光電晶片、功率器件、射頻器件等晶片設計企業、高校、科研院所等。

陜西光電子先導院先進光子器件工程創新平臺建模

　　據介紹，光子技術産業是現代産業體系的“關鍵少數”，技術壁壘高、産業帶動性強、頭雁效應明顯，是新一輪科技革命全球必爭之域。陜西省光子産業發展優勢明顯，全省不僅擁有西安光機所、西安電子科技大學、西北工業大學等一批光子學科健全、特色鮮明的高校院所，具備豐厚的科研成果，還有擁有100余家光子技術企業，初步形成了光子製造、光子信息、光子傳感等産業集群。同時，陜西省在光子技術産業領域也有著深厚的科研基礎，高折射率硅光晶片、微納光波導、光柵耦合器和VCSEL鐳射器、半極性GaN光電晶片襯底材料等方面均處於行業領先水準。

　　未來，陜西光電子先導院先進光子器件工程創新平臺將持續助力光子産業鏈上下游企業聚集，通過“稀缺平台資源+專業技術服務”持續吸引光子産業上下游企業聚集，為解決實驗室無法工程化創新成果，而成熟晶片代工廠又難以承接小量創新産品産出的兩難局面，做到有效的工程化銜接。

　　同時，該平臺吸引更多光子産業創新要素匯聚陜西，為國家攻關一批解決“卡脖子”並引領未來的關鍵核心技術，培育一批具有先發優勢和全球競爭力的光子産業冠軍企業，推動光子産業集群化、規模化、高産值化發展。（西安高新區）