北京加快突破光刻機“卡脖子”難題

2019-08-12 10:33:37|來源:北京日報|編輯:李玥

  京報網訊(記者 董禹含)我國正加速實現中高端光刻機的國產化。近日,亦莊企業北京國望光學科技有限公司增資項目在北京產權交易所完成。通過此次增資,國望光學引入中國科學院長春光學精密機械與物理研究所和中國科學院上海光學精密機械研究所作為戰略投資者,兩家機構以無形資產作價10億元入股,對應持股比例為33.33%。這意味著北京在推動國產光刻機核心部件生產方面邁出實質性步伐,將加快突破國產中高端光刻機製造“卡脖子”技術難題。

  光刻機作為集成電路製造中最關鍵的設備,對芯片製作工藝有著決定性的影響,被譽為“超精密製造技術皇冠上的明珠”,製造和維護均需要高度的光學和電子工業基礎。光刻機工作原理跟照相機類似,不過它的底片是涂滿光刻膠的硅片,各種電路圖案經激光縮微投影曝光到光刻膠上,光刻膠的曝光部分與硅片進行反應,將其永久刻在硅片上,這就是芯片生產最重要的步驟。由於製造光刻機具有極高的技術和資金門檻,目前全球光刻機市場基本被荷蘭的阿斯麥、日本的尼康和佳能三家企業壟斷。

  國望光學2018年6月落戶北京經濟技術開發區,是北京亦莊國際投資發展有限公司的全資子公司,註冊資本20億元,主營業務為光刻機核心部件生產。

  “國產光刻機製作工藝和全球頂尖工藝還有一定差距,國望光學的成立就是要推動國產中高端光刻機整機研發和量產。”亦莊國投相關負責人說,此次通過北交所增資就是要尋找技術實力一流的戰略投資方。

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